1 適用范圍
本評價指標體系規定了電子器件制造業中硅基半導體芯片制造生產企業（生產線）清潔生產的一般要求。本指標體系將清潔生產指標分為六類，即生產工藝裝備及技術、資源能源消耗指標、資源綜合利用指標、污染物產生指標、產品特征指標、清潔生產管理指標。
本指標體系適用于電子器件制造業中硅基半導體芯片制造生產企業（生產線）的清潔生產審核、清潔生產潛力與機會的判斷以及清潔生產績效評定和清潔生產績效公告制度，也適用于環境影響評價、排污許可證、環保領跑者等環境管理制度。
2 規范性引用文件
下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。
GB/T 14204-1993 水質烷基汞的測定氣相色譜法
GB/T 24001 環境管理體系要求及使用指南
GB/T 26125 電子電氣產品六種限用物質（鉛、汞、鎘、六價鉻、多溴聯苯和多溴二苯醚） 的測定
GB/T 26572 電子電氣產品中限用物質的限量要求
GB 18599 一般工業固體廢物貯存、處置場污染控制標準
HJ 540-2009 環境空氣和廢氣砷的測定二乙基二硫代氨基甲酸銀分光光度法
HJ 666-2013 水質氨氮的測定流動注射-水楊酸分光光度法
HJ 700-2014 水質65種元素的測定電感耦合等離子體質譜法
HJ/T 91-2002 地表水和污水監測技術規范
HJ/T 194-2005 環境空氣質量手工監測技術規范。
HJ/T 399-2007 水質化學需氧量的測定快速消解分光光度法
《清潔生產評價指標體系編制通則》（試行稿）（國家發展改革委、環境保護部、工業和信息化部2013年 第33號公告）
《產業結構調整指導目錄（2013年修正）》（國家發展改革委2013年 第21號令）
3 術語和定義
《清潔生產評價指標體系編制通則》（試行稿）所確立的以及下列術語和定義適用于本指標體系。
3.1 清潔生產
指不斷采取改進設計、使用清潔的能源和原料、采用先進的工藝技術與設備、改善管理、綜合利用等措施，從源頭削減污染，提高資源利用效率，減少或者避免生產、服務和產品使用過程中污染物的產生和排放，以減輕或者消除對人類健康和環境的危害。
3.2 管理指標
指企業實施清潔生產應滿足的相關管理規定要求的指標，包括：建立環境管理體系、開展節能活動、開展清潔生產審核活動、創建清潔生產先進企業活動等。
3.3 指標基準值
為評價清潔生產水平所確定的指標對照值。
3.4 一級指標權重值
指衡量各一級評價指標項在清潔生產評價指標體系中的重要程度的值。
3.5 二級指標分權重值
指依據二級指標項在企業生產過程中對清潔生產水平影響大小程度而確定的值。
3.6 二級指標基準值分級
根據清潔生產需要，為評判電子器件制造企業清潔生產水平將二級指標基準值劃分為三個不同的級別，分別代表國內清潔生產領先水平、國內清潔生產先進水平和國內清潔生產一般水平。
3.7 限用物質
法律法規或顧客要求在電子電氣產品中限制使用的有毒有害物質。
3.8 臭氧層消耗物質
指破壞臭氧層物質，主要包括氟氯化碳，三氯乙烷，三氯乙烯、三氯乙炔和四氯化碳等。
3.9 揮發性有機物
指溫度為293.15K、蒸汽壓大于或等于0.01KPa時，可揮發性有機化合物的總稱，但不包括甲烷。
3.10 新鮮水量
新水量指生產中每產出單位面積成品所耗用的新鮮水量，即取自自來水、地表水、地下水水源被第一次利用的水量，不包括主體工程重復使用的和循環利用的水量、余熱發電及輔助生產設施用水量。
3.11 廢水量
指生產設施或企業排放到企業法定邊界外的廢水量，包括與生產有直接或間接關系的各種外排廢水（含廠區生活污水、冷卻廢水、廠區鍋爐和電站廢水等）。
3.12 危險廢棄物
指產品生產過程中產生的具有下列情形之一的固體廢物（包括固體容器盛裝的液態廢物）：
（一）具有腐蝕性、毒性、易燃性、反應性或者感染性等一種或者幾種危險特性的；
（二）不排除具有危險特性，可能對環境或者人體健康造成有害影響，需要按照危險廢物進行管理的；
（三）列入國家危險廢物名錄（2016年版）中的。不在名錄的按照國家危險廢棄物鑒定流程確定。
3.13 單位產品電耗
指半導體生產芯片企業生產設備每生產單位面積產品所消耗的電能。
3.14 單位產品污染物產生量
指半導體芯片制造企業生產單位面積產品所產生污染物的量，這些污染物是在生產線排放出進入末端處理設施之前的廢棄物（廢液、廢氣或固體廢物）中,需監測末端處理前廢棄物中的某種污染物，本指標體系主要包括廢水，總砷，烷基汞，化學需氧量，氮氨、臭氧層破壞物質和危險廢物等。
4 評價指標體系
本指標體系在工廠產能達到其設計產能80%（包含）以上時適用。
4.1 指標選取說明
根據清潔生產的原則要求和指標的可度量性，進行本評價指標體系的指標選取。根據評價指標的性質，分為定量指標和定性指標兩類。
定量指標選取了具有代表性、能反映“節能”、“降耗”、“減污”和“增效”等有關清潔生產最終目標的指標，綜合考評企業實施清潔生產的狀況和企業清潔生產水平。定性指標根據國家有關推行清潔生產的產業發展和技術進步政策、資源環境保護政策規定以及行業發展規劃等選取，用于考核企業執行相關法律法規和標準政策情況。
4.2 指標基準值及其說明
各指標的評價基準值是衡量該項指標是否符合清潔生產基本要求的評價基準。
在定量評價指標中，各指標的評價基準值是衡量該項指標是否符合清潔生產基本要求的評價基準。在行業清潔生產評價指標體系中，評價基準值分為Ⅰ級基準值、Ⅱ級基準值和Ⅲ級基準值三個等級。其中Ⅰ級基準值代表國際領先水平；Ⅱ級基準值代表國內先進水平；Ⅲ級基準值代表國內一般水平。
在定性評價指標體系中，衡量該項指標是否貫徹執行國家有關政策、法規的情況，按“是”或“否” 兩種選擇來評定。
4.3 指標體系
集成電路芯片和分立器件芯片制造企業清潔生產評價指標體系技術要求內容見表1。由于不同尺寸集成電路芯片和分立器件芯片加工復雜度還與加工層數相關，因此本指南表1中各尺寸芯片指標值是在以下加工層數下測算出的，其它加工層數各尺寸集成電路芯片和分立器件芯片清潔生產指標值可參考本指南按加工層數比例合理自行測算。
? 12英寸芯片及分立器件芯片：35層；
? 8英寸芯片及分立器件芯片：30層；
? 5~6英寸芯片及分立器件芯片：20層；
? 4英寸及以下分立器件芯片：10層。
薄膜晶體管液晶顯示器（TFT-LCD）制造企業清潔生產評價指標體系技術要求內容見表2。
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